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SPARK
半導体パラメータ解析アプリケーションソフトウエア




パラメトリック測定パッケージ
4062や4070シリーズと同等の測定機能やユーザインターフェイスを持ち、高速で大量パラメータの取得ができますので、 製造ラインでの特性測定、評価、判定を自動で行うことができます。高速大量パラメータの自動測定に最適で主にラインでの使用に適しています。
Ppackage 詳細



特性評価パッケージ
I−V測定、C−V測定等SWEEP測定を、連続して自動的に行うことができます。取得したスイープデータからのパラメータ取得も行えます。 少数詳細データ/パラメータ測定に適しています。
Cpackage 詳細



膜評価パッケージ
4294Aの使用を前提とした容量測定を行うことができます。C−V測定、Z−F測定等の測定を連続して自動的に行うことができます。
Fpackage 詳細



信頼性評価パッケージ
TDDB、TZDB、ホットキャリア、チャージポンプ、エレクトロマイグレーションの信頼性評価測定を自動的に行うことができます。
Rpackage 詳細



カスタマイズ
これまでのカスタマイズの一例です。
カスタマイズ詳細



カタログダウンロード
カタログのダウンロードを行います。
ダウンロード (1.56MB)
カタログはPDFファイル形式です。
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